授業の目的 【日本語】
Goals of the Course(JPN) | | この講義では、物理科目をバックグランドとし、気体放電の基礎過程とプラズマの基本的性質を理解し、それらを工学に適用できる応用力を養うことを目的とする.
達成目標
１．物質の第四状態としてのプラズマのさまざまな特性を説明できる。
２．プラズマの様々なつくり方の中から，用途に応じた最適な方法を選択できる。
３．プラズマの性質が産業技術にどのように利用されているか説明できる。 |
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授業の目的 【英語】
Goals of the Course | | | Basic processes of gas discharge, fundamental properties of plasma and their applications are reviewed. Purpose of this lecture is that the students can explain elementary processes and fundermental characteristics of of gas discharge and can use these knowledge for applcation of the plasma. |
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到達目標 【日本語】
Objectives of the Course(JPN)) | | この講義では、物理科目をバックグランドとし、気体放電の基礎過程とプラズマの基本的性質を理解し、それらを工学に適用できる応用力を養うことを目的とする.
達成目標
１．物質の第四状態としてのプラズマのさまざまな特性を説明できる。
２．プラズマの様々なつくり方の中から，用途に応じた最適な方法を選択できる。
３．プラズマの性質が産業技術にどのように利用されているか説明できる。 |
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到達目標 【英語】
Objectives of the Course | | | Basic processes of gas discharge, fundamental properties of plasma and their applications are reviewed. Purpose of this lecture is that the students can explain elementary processes and fundermental characteristics of of gas discharge and can use these knowledge for applcation of the plasma. |
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バックグラウンドとなる科目【日本語】
Prerequisite Subjects | | |
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バックグラウンドとなる科目【英語】
Prerequisite Subjects | | | Electromagnetic Theory with Exercises 1,2, Engineering Mechanics with Exercises I,II |
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授業の内容【日本語】
Course Content | | 第 １週 はじめに
第 ２週 ミクロに見る
第 ３週 ミクロに見る（非弾性衝突）
第 ４週 マクロに見る（流体方程式）
第 ５週 マクロに見る（基礎的性質）
第 ６週 マクロに見る（壁と接する）
第 ７週 プラズマの誕生（絶縁破壊）
第 ８週 プラズマつくり（直流放電）
第 ９週 プラズマつくり（高周波放電）
第１０週 プラズマつくり（マイクロ波放電）
第１１週 応用（エッチング）
第１２週 応用（デポジッション）
第１３週 応用（ディスプレイ）
第１４週 応用（環境浄化）
第１５週 まとめ
毎回の授業前に教科書の指定箇所を読んでおくこと。講義終了後は、教科書の例題・章末問題などを自分で解くこと。 |
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授業の内容【英語】
Course Content | | 1. Introduction
2. Microscopic Plasma 1 (Particle and collision)
3. Microscopic Plasma 2 (Inelastic collisions)
4. Macroscopic Plasma 1 (Fluid equations)
5. Macroscopic Plasma 2 (Basic properties)
6. Macroscopic Plasma 3 (Plasma contacting wall)
7. Appearance of Plasma (Gas breakdown)
8. Plasma Production 1 (DC discharge)
9. Plasma Production 1 (RF discharge)
10. Plasma Production 1 (Microwave discharge)
11. Plasma Application 1 (Etching)
12. Plasma Application 2 (Deposition)
13. Plasma Application 3 (Display)
14. Plasma Application 4 (Envilonment)
15. Summary |
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成績評価の方法と基準【日本語】
Course Evaluation Method and Criteria | | 達成目標に対しての修得度を期末試験にて評価する。物質の第四状態としてのプラズマのさまざまな特性、プラズマの生成方法等のそれぞれについて、基本的な問題を正確に扱うことが出来れば合格とし、より難易度の高い問題を扱うことができればそれに応じて成績に反映させる。。
〈学部：2020年度以降入学者〉
100～95点：A+，94～80点：Ａ，79～70点：Ｂ，69～65点：Ｃ，64～60点：Ｃ-，59点以下：Ｆ
〈学部：2019年度以前入学者〉
100～90点：Ｓ，89～80点：Ａ，79～70点：Ｂ，69～60点：Ｃ，59点以下：Ｆ |
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成績評価の方法と基準【英語】
Course Evaluation Method and Criteria | | Evaluated by Examination
Entrance Year: 2020 or later
100～95:A+, 94～80:A, 79～70:B, 69～65:C, 64～60:C-, <59:F
Entrance Year: 2019 or before
100～80:A, 79～70:B, 69～60:C, <59:D |
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履修条件・注意事項【日本語】
Course Prerequisites / Notes | | 履修条件は要さない。
・授業は対面・遠隔（オンデマンド型）の併用で行う。遠隔授業はNUCTで行う。 |
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履修条件・注意事項【英語】
Course Prerequisites / Notes | | |
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教科書【日本語】
Textbook | | |
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教科書【英語】
Textbook | | | Plasma Electronics (in Japanese) by Hideo Sugai |
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参考書【日本語】
Reference Book | | | プラズマ理工学入門：高村秀一著（森北出版） 気体放電の基礎：武田進著（東京電気大学出版局） |
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参考書【英語】
Reference Book | | |
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授業時間外学習の指示【日本語】
Self-directed Learning Outside Course Hours | | |
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授業時間外学習の指示【英語】
Self-directed Learning Outside Course Hours | | |
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使用言語【英語】
Language used | | |
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使用言語【日本語】
Language used | | |
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授業開講形態等【日本語】
Lecture format, etc. | | |
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授業開講形態等【英語】
Lecture format, etc. | | |
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遠隔授業（オンデマンド型）で行う場合の追加措置【日本語】
Additional measures for remote class (on-demand class) | | |
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遠隔授業（オンデマンド型）で行う場合の追加措置【英語】
Additional measures for remote class (on-demand class) | | |
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