授業の目的 【日本語】
Goals of the Course(JPN) | | 集積プロセス工学の研究の基礎とするため、必要な学術書や文献を輪読・発表し，特にプラズマプロセス工学およびナノプロセス工学の基礎と応用を習得することを目的とする。併せて、応用分野として関連深い、物性物理学やナノ物性工学、医学、バイオサイエンスについても学ぶ。
この授業では、受講者が授業終了時に、以下の知識・能力を身につけていることを目標とする。
１．プラズマプロセスおよびナノプロセスの原理と特徴を説明できる。
２．プラズマ診断技術および反応表面解析技術について理解し、説明できる。
３．半導体デバイスプロセス、ナノ材料プロセスおよびナノバイオプロセスの動向と技術的課題を理解し、説明できる。 |
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授業の目的 【英語】
Goals of the Course | | As a basis for research on integrated process engineering, the purpose of this course is to acquire the basics and applications of plasma process engineering and nano-process engineering through reading academic books and literatures about plasma processing and nano-processing technologies, and discussions. In addition, they also learn and discuss about the latest developments of the related regions, such as solid-state physics, nanomaterial engineering, medical and bio sciences, and so forth, and understand their essences.
In this lesson, the goal is for students to have the following knowledge and skills at the end of the lesson.
1. Explain the principles and characteristics of plasma processes and nano processes.
2. Understand and explain plasma diagnostic technology and reaction surface analysis technology.
3. Understand and explain trends and technical issues in semiconductor device processes, nanomaterial processes, and nano-bio processes. |
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到達目標 【日本語】
Objectives of the Course(JPN)) | | 集積プロセス工学の研究の基礎とするため、必要な学術書や文献を輪読・発表し，特にプラズマプロセス工学およびナノプロセス工学の基礎と応用を習得することを目的とする。併せて、応用分野として関連深い、物性物理学やナノ物性工学、医学、バイオサイエンスについても学ぶ。
この授業では、受講者が授業終了時に、以下の知識・能力を身につけていることを目標とする。
１．プラズマプロセスおよびナノプロセスの原理と特徴を説明できる。
２．プラズマ診断技術および反応表面解析技術について理解し、説明できる。
３．半導体デバイスプロセス、ナノ材料プロセスおよびナノバイオプロセスの動向と技術的課題を理解し、説明できる。 |
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到達目標 【英語】
Objectives of the Course | | As a basis for research on integrated process engineering, the purpose of this course is to acquire the basics and applications of plasma process engineering and nano-process engineering through reading academic books and literatures about plasma processing and nano-processing technologies, and discussions. In addition, they also learn and discuss about the latest developments of the related regions, such as solid-state physics, nanomaterial engineering, medical and bio sciences, and so forth, and understand their essences.
In this lesson, the goal is for students to have the following knowledge and skills at the end of the lesson.
1. Explain the principles and characteristics of plasma processes and nano processes.
2. Understand and explain plasma diagnostic technology and reaction surface analysis technology.
3. Understand and explain trends and technical issues in semiconductor device processes, nanomaterial processes, and nano-bio processes. |
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バックグラウンドとなる科目【日本語】
Prerequisite Subjects | | | 電磁気学，プラズマ物理学，レーザー工学，物性物理，量子エレクトロニクス, 生物学・有機化学 |
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バックグラウンドとなる科目【英語】
Prerequisite Subjects | | | Electromagnetics, Plasma physics, Laser engineering, Material physics, Quantum electronics, biology, organic chemistry |
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授業の内容【日本語】
Course Content | | 1. 原子分子物理学
2. プラズマ診断工学
3. プラズマ・表面相互作用
4. プラズマプロセスおよびナノ材料工学
5. プラズマの医療・バイオ応用
次回の授業内容を予習し、専門用語の意味等を理解しておくこと。 |
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授業の内容【英語】
Course Content | | 1. Atomic and molecular physics
2. Plasma diagnostics
3. Plasma-surface interaction
4. Plasma processing and nanomaterial engineering
5. Application of plasma to medical and biotechnology
Preparing for the next lesson and understanding the meaning of technical terms. |
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成績評価の方法と基準【日本語】
Course Evaluation Method and Criteria | | セミナーにおける口頭発表とそれに対する質疑応答により、目標達成度を評価する。
ナノプロセスの原理と特徴を正しく理解し、論じていることを最低限の合格基準とする。
成績評価基準は以下のとおりとし、100点満点で60点以上を合格とする。
〈２０２０年度以降入学者〉
100～95点：Ａ＋，94～80点：Ａ，79～70点：Ｂ，69～65点：Ｃ，64～60点：Ｃ－，59点以下：Ｆ
〈２０１９年度以前入学者〉
100～90点：Ｓ，89～80点：Ａ，79～70点：Ｂ，69～60点：Ｃ，59点以下：Ｆ |
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成績評価の方法と基準【英語】
Course Evaluation Method and Criteria | | The level of achievement of the goal are evacuated through oral presentations at the seminar and Q & A sessions.
The minimum acceptance criterion is to correctly understand and discuss the principles and characteristics of nanoprocesses.
The grade evaluation criteria are as follows, and a score of 60 or more out of 100 is considered acceptable.
Students enrolled in or after the 2020 school year:
100~95: A+, 94~80: A, 79~70: B，69~65: C, 64~60: C-, 59~0: F
Students enrolled in or before the 2019 school year:
100~90: S, 89~80: A, 79~70: B，69~60: C, 59~0: F |
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履修条件・注意事項【日本語】
Course Prerequisites / Notes | | | バックグラウンドとなる科目の幾つかを履修済みであることが望ましいが、未履修でも受講可能。 |
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履修条件・注意事項【英語】
Course Prerequisites / Notes | | | It is better that you have already taken some of the prerequisite subjects, but you can take this class even if you have not taken them. |
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教科書【日本語】
Textbook | | | 輪読する教科書(学術書)については，年度初めに適宜選定する。学術論文については，セミナーの進行に合わせて適宜、選定する。 |
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教科書【英語】
Textbook | | | Academic books reading in seminar will be selected at the beginning of a new fiscal year. Academic papers are chosen accordingly depending on the progress. |
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参考書【日本語】
Reference Book | | |
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参考書【英語】
Reference Book | | | References will be provided as needed. |
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授業時間外学習の指示【日本語】
Self-directed Learning Outside Course Hours | | |
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授業時間外学習の指示【英語】
Self-directed Learning Outside Course Hours | | |
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使用言語【英語】
Language used | | |
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使用言語【日本語】
Language used | | |
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授業開講形態等【日本語】
Lecture format, etc. | | |
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授業開講形態等【英語】
Lecture format, etc. | | |
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遠隔授業（オンデマンド型）で行う場合の追加措置【日本語】
Additional measures for remote class (on-demand class) | | |
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遠隔授業（オンデマンド型）で行う場合の追加措置【英語】
Additional measures for remote class (on-demand class) | | |
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