授業の目的 【日本語】
Goals of the Course(JPN) | | 半導体デバイスにおける物性論および製造プロセスに関わる物理現象を基礎から理解し、半導体中の電気伝導、プロセス物理、またそれらの応用技術について、総合的に習得する。前半に半導体デバイスの動作原理の基本となるエネルギーバンド理論やキャリア輸送について、後半に半導体プロセス技術の基礎となる酸化、拡散、固相反応などの諸現象について学ぶ。
達成目標：１．半導体中のキャリア輸送を、結晶構造、エネルギーバンド構造と関連付けて議論できる。２．基本的な半導体プロセスをその物理現象と絡めて理解し、説明できる。 |
|
|
授業の目的 【英語】
Goals of the Course | | | The purposes of this lecture is undestanding the physics in semiconductor devices and processes. Contents of this lecture are 1. Carrier conduction in semiconductors, 2. Crystalline peorperties and energy band structures of semiconductors, 3. Basics of material science in semiconductor process. |
|
|
到達目標 【日本語】
Objectives of the Course(JPN)) | | 半導体デバイスにおける物性論および製造プロセスに関わる物理現象を基礎から理解し、半導体中の電気伝導、プロセス物理、またそれらの応用技術について、総合的に習得する。前半に半導体デバイスの動作原理の基本となるエネルギーバンド理論やキャリア輸送について、後半に半導体プロセス技術の基礎となる酸化、拡散、固相反応などの諸現象について学ぶ。
達成目標：１．半導体中のキャリア輸送を、結晶構造、エネルギーバンド構造と関連付けて議論できる。２．基本的な半導体プロセスをその物理現象と絡めて理解し、説明できる。 |
|
|
到達目標 【英語】
Objectives of the Course | | | The purposes of this lecture is undestanding the physics in semiconductor devices and processes. Contents of this lecture are 1. Carrier conduction in semiconductors, 2. Crystalline peorperties and energy band structures of semiconductors, 3. Basics of material science in semiconductor process. |
|
|
バックグラウンドとなる科目【日本語】
Prerequisite Subjects | | | 電磁気学，熱力学，統計力学，物性物理学。なお、応用物理系および材料系学科出身者以外は『結晶物理学基礎』および『結晶材料学基礎』を履修しておくことが望ましい。 |
|
|
バックグラウンドとなる科目【英語】
Prerequisite Subjects | | | Electromagnetics, thermodynamics, statistical mechanics, solid state physics. Those who did not graduate from an applied physics or materials engineering department are strongly recommended to take course 'Science and Engineering of Crystalline Material |
|
|
授業の内容【日本語】
Course Content | | 1．半導体物性の基礎
2．エネルギーバンド理論と有効質量
3．結晶欠陥と不純物
4．半導体へテロ構造と結晶成長
5．結晶歪みと移動度
6．不純物散乱とフォノン散乱
7．半導体プロセスの基礎
8．酸化過程および不純物拡散
9. 界面固相反応
毎回の講義の前に配布資料の該当箇所を読んでおくこと。講義終了後は、配布資料の例題などを自分で解くこと。 |
|
|
授業の内容【英語】
Course Content | | 1. Basic properties of semiconductors
2. Theory of energyband and effective mass in semiconductors
3. Defects and impurities in crystals
4. Semiconductor hetero-structures and crystal growth
5. Strain and carrier mobility
6. Impurity and phonon
7 Basics of semiconductor process
8 Oxidation and impurity diffusion
9. Solid-phase reaction at interface
Read related section in reference prints before each lecture. Solve example problems in reference prints by yourself after lecture. |
|
|
成績評価の方法と基準【日本語】
Course Evaluation Method and Criteria | | 1. 達成目標に対しての修得度を、複数回のレポートおよび口頭での議論などにより総合的に評価する。
2. 半導体デバイスにおける物性論および製造プロセスに関わる物理現象について基本的な問題を正確に扱うことができれば合格とし、より難易度の高い問題を解くことができれば、その水準に応じて成績に反映させる。 |
|
|
成績評価の方法と基準【英語】
Course Evaluation Method and Criteria | | 1. The degree of achievement is comprehensively evaluated by some reports and oral Q&A.
2. When basic problems can be dealt with accurately for
physical properties of semiconductor devices and physical phenomena related to semiconductor processes, it is judged acceptable. If more difficult problems can be solved, it is reflected in the evaluations according to the level. |
|
|
履修条件・注意事項【日本語】
Course Prerequisites / Notes | | | 履修条件は要さない。授業は対面・遠隔（オンデマンド型）の併用で行う。遠隔授業の詳細はNUCTで通知する。教員への質問は、NUCT 機能「メッセージ」により行うこと。授業に関する受講学生間の意見交換は、NUCT機能「メッセージ」により行うこと。 |
|
|
履修条件・注意事項【英語】
Course Prerequisites / Notes | | | No requirement for taking the course. |
|
|
教科書【日本語】
Textbook | | |
|
教科書【英語】
Textbook | | | Reference prints are distributed. The text book is not used. |
|
|
参考書【日本語】
Reference Book | | | “Semiconductor Devices～Physics and Technology 2nd edition”S.M. Sze著 (WILEY)，“Electronic Properties of Crystalline Solids”R. Bube著(Academic Press)，など。その他、講義の進行に合わせて適宜紹介する。 |
|
|
参考書【英語】
Reference Book | | | "Semiconductor Devices - Physics and Technology 2nd edition" S.M. Sze (WILEY), "Electronic Properties of Crystalline Solids" R. Bube (Academic Press), etc... Other reference books will be specified with progress of the lecture. |
|
|
授業時間外学習の指示【日本語】
Self-directed Learning Outside Course Hours | | |
|
授業時間外学習の指示【英語】
Self-directed Learning Outside Course Hours | | |
|
使用言語【英語】
Language used | | |
|
使用言語【日本語】
Language used | | |
|
授業開講形態等【日本語】
Lecture format, etc. | | |
|
授業開講形態等【英語】
Lecture format, etc. | | |
|
遠隔授業（オンデマンド型）で行う場合の追加措置【日本語】
Additional measures for remote class (on-demand class) | | |
|
遠隔授業（オンデマンド型）で行う場合の追加措置【英語】
Additional measures for remote class (on-demand class) | | |
|