学部・大学院区分
Undergraduate / Graduate		工・博前
時間割コード
Registration Code		2852501
科目区分【日本語】
Course Category
専門科目
科目区分【英語】
Course Category
Specialized Courses
科目名　【日本語】
Course Title		マイクロ・ナノプロセス工学特論
科目名　【英語】
Course Title		Advanced Lectures on Micro-nano Process
コースナンバリングコード
Course Numbering Code
担当教員　【日本語】
Instructor		櫻井 淳平 ○
担当教員　【英語】
Instructor		SAKURAI Junpei ○
単位数
Credits		2
開講期・開講時間帯
Term / Day / Period		秋 月曜日 １時限
Fall Mon 1
授業形態
Course style		講義
Lecture
学科・専攻【日本語】
Department / Program
マイクロ・ナノ機械理工学専攻
学科・専攻【英語】
Department / Program
Department of Micro-Nano Mechanical Science and Engineering
必修・選択【日本語】
Required / Selected
選択
必修・選択【英語】
Required / Selected


授業の目的　【日本語】
Goals of the Course(JPN)
半導体微細加工プロセスに限らず，マイクロ，ナノ構造体を作製するためのマイクロ・ナノプロセスを習得することを目指す．
これにより，マイクロ・ナノ領域の基礎学力及び総合力を取得することを目的とする．
授業の目的　【英語】
Goals of the Course
The aim of this lecture is to understand the way of micro-nano devices design based on micro- nano- fabrication process.
到達目標　【日本語】
Objectives of the Course(JPN))
１．マイクロ・ナノ領域における構造体作製方法を理解し，説明できる．
２．マイクロ・ナノデバイス材料やその評価法について理解し，説明できる．
到達目標　【英語】
Objectives of the Course
Goals and objectives
(1) To understand and explain vasious micro- nano- fabrication processes
(2) To understand and explain micro-nano materials for micro-nano devices and evaluation method for their properties
バックグラウンドとなる科目【日本語】
Prerequisite Subjects
物理学，半導体微細加工学，材料工学
バックグラウンドとなる科目【英語】
Prerequisite Subjects
Physics, Semiconductor technologies, materials
授業の内容【日本語】
Course Content
本講義ではマイクロ・ナノサイズのデバイスの作製プロセスについての基礎学力を取得することを目的として以下の内容について論ずる．
(1) マイクロ・ナノ領域における構造体作製方法
　・半導体微細加工技術
　・物理蒸着法（真空蒸着，MBE,スパッタ）
　・化学蒸着法（CVD)
　・電子線描画
　・プリンティッドエレクトロニクス
　・ナノインプリント

(2) マイクロ・ナノデバイス材料やその評価法
・機能性薄膜材料
・薄膜材料評価
授業の内容【英語】
Course Content
The contents of this lecture is the followings,
(1) Micro- Nano- fabrication process
　・Photolithography
　・Physical Vapor Deposition（Evapolation, MBE, Sputtering)
　・Chemical Vapor Deposition
　・Electron beam Lithography
　・Printed electronics technology
　・Nanoimprinting

(2) Micro-nano materials for micro-nano devices and evaluation method for their properties
・Functional thin film materials
・Evaluation method of the thier properties
成績評価の方法と基準【日本語】
Course Evaluation Method and Criteria
授業最後に毎回小テストを実施し，達成目標に対しての理解度を確認する．また，総合的な理解度を確認するためレポートにて評価する．各技術の基本的な知識を説明ことができれば，合格とする．
下記の得点配分により成績評価を行う．
小テスト70％，レポート30％．
　　100～95点：Ａ＋，94～80点：Ａ，79～70点：Ｂ，69～65点：Ｃ，64～60点：Ｃ－，59点以下：Ｆ
成績評価の方法と基準【英語】
Course Evaluation Method and Criteria
Test at every lectures and submit report to confirm the level of understanding for goals and objectives.

Qulifying standard
able to explain the concept of each technology.

Test:70%　
Report:30%
You need more than mark of 60 out of 100 points for the pass.
Score:100-95:A+, 94-80:A, 79-70:B, 69-65:C, 64-60:C-, Less than 59:F
履修条件・注意事項【日本語】
Course Prerequisites / Notes
履修条件は要さない
履修条件・注意事項【英語】
Course Prerequisites / Notes
Anyone can take this class.
教科書【日本語】
Textbook
講義資料をTACTにて配布する．
教科書【英語】
Textbook
Distribute the handouts at every time from TACT web site.
参考書【日本語】
Reference Book
講義資料内に記載する．
参考書【英語】
Reference Book
Specify in the handouts.
授業時間外学習の指示【日本語】
Self-directed Learning Outside Course Hours
事前にTACTから講義資料を入手し読んでおくこと．
授業時間外学習の指示【英語】
Self-directed Learning Outside Course Hours
Read carefully handouts before attending each class.
使用言語【英語】
Language used
使用言語【日本語】
Language used
授業開講形態等【日本語】
Lecture format, etc.
・授業は対面・遠隔（双方向通信型）の併用で行う．遠隔授業はTeamsで行う．詳細はTACTにて通知する．
・教員への質問はメールで行うこと．
授業開講形態等【英語】
Lecture format, etc.
・Classes will be conducted in combination with face-to-face and remote (two-way communication type). Remote learning is conducted by Teams, Details will be notified by NUCT.
遠隔授業（オンデマンド型）で行う場合の追加措置【日本語】
Additional measures for remote class (on-demand class)
・教員への質問はメールで行うこと．
・授業に関する受講者学生間の意見交換は，TACT機能のメッセージで行うこと．
遠隔授業（オンデマンド型）で行う場合の追加措置【英語】
Additional measures for remote class (on-demand class)
・Ask question by E-mail.
・Opinion exchanges between students regarding classes should be conducted using TACT function messages.