授業の目的 【日本語】
Goals of the Course(JPN) | | マイクロ領域における機械デバイスの設計，製作，駆動，制御，応用に関する基礎学力を養い，専門書，学術論文の内容を理解することを目的とする．
達成目標
1. マイクロ領域における構造体の設計・作製方法を説明できる．
2. マイクロデバイスにおけるスケール効果を説明でき，それに応じた特有の駆動，制御を説明できる．
3. マイクロセンサ・マイクロアクチュエータなどの応用デバイスの仕組みを説明できる． |
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授業の目的 【英語】
Goals of the Course | | The aim is to understand design, fabrication, actuation, and control techniques of microsensors and microactuators.
You will become able to
1. Explain design and fabrication of microdevices.
2. Explain scale effects in microsystems.
3. Explain principle of microsensors and microactuators. |
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到達目標 【日本語】
Objectives of the Course(JPN)) | | マイクロ領域における機械デバイスの設計，製作，駆動，制御，応用に関する基礎学力を養い，専門書，学術論文の内容を理解することを目的とする．
達成目標
1. マイクロ領域における構造体の設計・作製方法を説明できる．
2. マイクロデバイスにおけるスケール効果を説明でき，それに応じた特有の駆動，制御を説明できる．
3. マイクロセンサ・マイクロアクチュエータなどの応用デバイスの仕組みを説明できる． |
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到達目標 【英語】
Objectives of the Course | | The aim is to understand design, fabrication, actuation, and control techniques of microsensors and microactuators.
You will become able to
1. Explain design and fabrication of microdevices.
2. Explain scale effects in microsystems.
3. Explain principle of microsensors and microactuators. |
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バックグラウンドとなる科目【日本語】
Prerequisite Subjects | | | 材料科学，機械工学，電気・電子工学，物理学，半導体微細加工学 |
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バックグラウンドとなる科目【英語】
Prerequisite Subjects | | | Material Science, Mechanical Engineering, Electrical and Electronics Engineering, Physics, Semiconductor technologies |
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授業の内容【日本語】
Course Content | | 本実験および演習では，上記目標を達成するために，マイクロ機械デバイスに関する教科書，参考書，参考文献など，本分野における各種参考図書を輪講形式で学習する．具体的には，参考図書を分担して読み，スライドを用いてその内容を教員および他受講生の前で発表・討論を行う．また，討論にて新たに生じた課題についても，調査・再発表も行い，本学問に対する専門性を深める．
スライド作成は授業時間外に行う． |
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授業の内容【英語】
Course Content | | | Reading books and papers about microdevices, and giving a presentation. Discussing contents of the literature to achieve the above aim. |
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成績評価の方法と基準【日本語】
Course Evaluation Method and Criteria | | 調査発表の発表内容及び討論を100点満点で評価し，60点以上を合格とする．
100～95点：Ａ＋，94～80点：Ａ，79～70点：Ｂ，69～65点：Ｃ，64～60点：Ｃ－，59点以下：Ｆ |
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成績評価の方法と基準【英語】
Course Evaluation Method and Criteria | | Score is evaluated by equally each learning item described in Purpose. In particular, it is marked by the reports, presentation, and discussion. You need more than mark of 60 out of 100 points for the pass.
Score: 100-95: A+, 94-80: A, 79-70: B, 69-65: C, 64-60: C-, Less than 59: F |
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履修条件・注意事項【日本語】
Course Prerequisites / Notes | | ・履修条件は要さない
・授業は対面・遠隔（双方向通信型）の併用で行う．遠隔授業はTeamsで行う．詳細はNUCTにて通知する．
・教員への質問は口頭またはTeamsで行うこと． |
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履修条件・注意事項【英語】
Course Prerequisites / Notes | | ・Anyone can take this class.
・Classes will be conducted in combination with face-to-face and remote (two-way communication type). Remote learning is conducted by Teams, Details will be notified by NUCT.
・Ask question verbally or via Microsoft Teams. |
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教科書【日本語】
Textbook | | 演習開始時に輪講に用いる教科書を決定する．
Journal of Micromechanics and Microengineering, Sensors and Actuators:A, Journal of Microelectromechanical Systemsなどから選出する． |
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教科書【英語】
Textbook | | The literature is selected at the first class.
For examples, papers in Journal of Micromechanics and Microengineering, Sensors and Actuators:A, Journal of Microelectromechanical Systems. |
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参考書【日本語】
Reference Book | | | Microsystem Design: Stephen D. Senturia（Springer US） |
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参考書【英語】
Reference Book | | | Microsystem Design: Stephen D. Senturia (Springer US) |
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授業時間外学習の指示【日本語】
Self-directed Learning Outside Course Hours | | | 事前に発表内容をパワーポイントスライドにまとめること． |
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授業時間外学習の指示【英語】
Self-directed Learning Outside Course Hours | | | Summarize the content of your presentation in PowerPoint slides in advance. |
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使用言語【英語】
Language used | | |
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使用言語【日本語】
Language used | | |
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授業開講形態等【日本語】
Lecture format, etc. | | |
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授業開講形態等【英語】
Lecture format, etc. | | |
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遠隔授業（オンデマンド型）で行う場合の追加措置【日本語】
Additional measures for remote class (on-demand class) | | |
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遠隔授業（オンデマンド型）で行う場合の追加措置【英語】
Additional measures for remote class (on-demand class) | | |
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