授業の目的 【日本語】 Goals of the Course(JPN) | | 半導体微細加工プロセスに限らず,マイクロ,ナノ構造体を作製するためのマイクロ・ナノプロセスを習得することを目指す. これにより,マイクロ・ナノ領域の基礎学力及び総合力を取得することを目的とする. |
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授業の目的 【英語】 Goals of the Course | | The aim of this lecture is to understand the way of micro-nano devices design based on micro- nano- fabrication process. |
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到達目標 【日本語】 Objectives of the Course(JPN)) | | 1.マイクロ・ナノ領域における構造体作製方法を理解し,説明できる. 2.マイクロ・ナノデバイス材料やその評価法について理解し,説明できる. |
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到達目標 【英語】 Objectives of the Course | | Goals and objectives (1) To understand and explain vasious micro- nano- fabrication processes (2) To understand and explain micro-nano materials for micro-nano devices and evaluation method for their properties |
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バックグラウンドとなる科目【日本語】 Prerequisite Subjects | | |
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バックグラウンドとなる科目【英語】 Prerequisite Subjects | | Physics, Semiconductor technologies, materials |
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授業の内容【日本語】 Course Content | | 本講義ではマイクロ・ナノサイズのデバイスの作製プロセスについての基礎学力を取得することを目的として以下の内容について論ずる. (1) マイクロ・ナノ領域における構造体作製方法 ・半導体微細加工技術 ・物理蒸着法(真空蒸着,MBE,スパッタ) ・化学蒸着法(CVD) ・電子線描画 ・プリンティッドエレクトロニクス ・ナノインプリント
(2) マイクロ・ナノデバイス材料やその評価法 ・機能性薄膜材料 ・薄膜材料評価 |
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授業の内容【英語】 Course Content | | The contents of this lecture is the followings, (1) Micro- Nano- fabrication process ・Photolithography ・Physical Vapor Deposition(Evapolation, MBE, Sputtering) ・Chemical Vapor Deposition ・Electron beam Lithography ・Printed electronics technology ・Nanoimprinting
(2) Micro-nano materials for micro-nano devices and evaluation method for their properties ・Functional thin film materials ・Evaluation method of the thier properties |
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成績評価の方法と基準【日本語】 Course Evaluation Method and Criteria | | 授業最後に毎回小テストを実施し,達成目標に対しての理解度を確認する.また,総合的な理解度を確認するためレポートにて評価する.各技術の基本的な知識を説明ことができれば,合格とする. 下記の得点配分により成績評価を行う. 小テスト70%,レポート30%. 100~95点:A+,94~80点:A,79~70点:B,69~65点:C,64~60点:C-,59点以下:F |
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成績評価の方法と基準【英語】 Course Evaluation Method and Criteria | | Test at every lectures and submit report to confirm the level of understanding for goals and objectives.
Qulifying standard able to explain the concept of each technology.
Test:70% Report:30% You need more than mark of 60 out of 100 points for the pass. Score:100-95:A+, 94-80:A, 79-70:B, 69-65:C, 64-60:C-, Less than 59:F |
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履修条件・注意事項【日本語】 Course Prerequisites / Notes | | |
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履修条件・注意事項【英語】 Course Prerequisites / Notes | | Anyone can take this class. |
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教科書【日本語】 Textbook | | |
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教科書【英語】 Textbook | | Distribute the handouts at every time from TACT web site. |
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参考書【日本語】 Reference Book | | |
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参考書【英語】 Reference Book | | |
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授業時間外学習の指示【日本語】 Self-directed Learning Outside Course Hours | | 事前にTACTから講義資料を入手し読んでおくこと. |
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授業時間外学習の指示【英語】 Self-directed Learning Outside Course Hours | | Read carefully handouts before attending each class. |
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使用言語【英語】 Language used | | |
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使用言語【日本語】 Language used | | |
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授業開講形態等【日本語】 Lecture format, etc. | | ・授業は対面・遠隔(双方向通信型)の併用で行う.遠隔授業はTeamsで行う.詳細はTACTにて通知する. ・教員への質問はメールで行うこと. |
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授業開講形態等【英語】 Lecture format, etc. | | ・Classes will be conducted in combination with face-to-face and remote (two-way communication type). Remote learning is conducted by Teams, Details will be notified by NUCT. |
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遠隔授業(オンデマンド型)で行う場合の追加措置【日本語】 Additional measures for remote class (on-demand class) | | ・教員への質問はメールで行うこと. ・授業に関する受講者学生間の意見交換は,TACT機能のメッセージで行うこと. |
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遠隔授業(オンデマンド型)で行う場合の追加措置【英語】 Additional measures for remote class (on-demand class) | | ・Ask question by E-mail. ・Opinion exchanges between students regarding classes should be conducted using TACT function messages. |
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