授業の目的 【日本語】
Goals of the Course(JPN) | | 授業の目的：
新研究分野の創成、新産業の創出のために、学部で学習した材料加工学，生産プロセス工学を基礎として，微小機械システムの機能性を向上させるための機能性表面の創成法と評価方法を理解する．具体的には、プラズマやイオンを使った加工は，ナノ・マイクロ加工に大変有用であり，いまやナノテクノロジーのために欠かすことはできない．学部で学習した材料加工学，生産プロセス工学，電磁気学，流体力学などの基礎学理に基づき，プラズマ／イオン加工の特徴や最先端の成果を知る．
到達目標 ：
１．プラズマとイオンを理解する．
２．プラズマとイオンを用いた加工方法の原理を理解する． |
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授業の目的 【英語】
Goals of the Course | | | Mnufactureing with plasma and ion is useful in nano- and micro-scale manufacturing, and now essential for nano-technology. In this class, we study about the characteristics and latest results of plasma/ion-assisted manufacturing on the basis of fundamental knowledge of Precision Manufacturing, Material Processing, Manufacturing Process Engineering, Electromagnetics, Fluid Dynamics, which you studied in undergradute course. |
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到達目標 【日本語】
Objectives of the Course(JPN)) | | 授業の目的：
プラズマやイオンを使った加工は，ナノ・マイクロ加工に大変有用であり，いまやナノテクノロジーのために欠かすことはできない．学部で学習した材料加工学，生産プロセス工学，電磁気学，流体力学などの基礎学理に基づき，プラズマ／イオン加工の特徴や最先端の成果を知る．また，その応用先としてトライボロジー分野について学ぶ．
到達目標 ：
１．プラズマとイオンを理解する．
２．プラズマとイオンを用いた加工方法の原理を理解する． |
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到達目標 【英語】
Objectives of the Course | | | Mnufactureing with plasma and ion is useful in nano- and micro-scale manufacturing, and now essential for nano-technology. In this class, we study about the characteristics and latest results of plasma/ion-assisted manufacturing on the basis of fundamental knowledge of Precision Manufacturing, Material Processing, Manufacturing Process Engineering, Electromagnetics, Fluid Dynamics, which you studied in undergradute course. Furthermore, we learn tribology field as the application of the above technology. |
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バックグラウンドとなる科目【日本語】
Prerequisite Subjects | | | 精密加工学，材料加工学，生産プロセス工学，電磁気学，流体力学 |
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バックグラウンドとなる科目【英語】
Prerequisite Subjects | | | Precision Manufacturing, Material Processing, Manufacturing Process Engineering, Electromagnetics, Fluid Dynamics |
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授業の内容【日本語】
Course Content | | オリエンテーション
トライボロジーの意義・定義・歴史的背景
摩耗機構の分類・表面粗さ・しゅう動面の応力・閃光温度，物理成膜・化学成膜・固体潤滑
摩耗形態図・トライボロジー基礎，各種分析手法（EDS，AES，ラマン分光分析，XPS）ダイヤモンドからダイヤモンドライクカーボンへ |
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授業の内容【英語】
Course Content | | Orientation
The perspective of tribology, definition, historical view
Classification of wear, surface roughness, contact pressure, flash temperature, synthesis of physical or chemical vapor, solid lubricants
Wear map, the basis of tribology, surface analysis technology (EDS, AES, Raman, XPS), Diamond to diamond-like carbon |
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成績評価の方法と基準【日本語】
Course Evaluation Method and Criteria | | レポート提出で目標達成度を評価する。
100点満点で60点以上を合格とし、A～Fを評価する。 |
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成績評価の方法と基準【英語】
Course Evaluation Method and Criteria | | |
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履修条件・注意事項【日本語】
Course Prerequisites / Notes | | ・履修条件は要しない。
・授業は対面で行う。
・教員への質問は，TACT機能「メッセージ」により行うこと。 |
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履修条件・注意事項【英語】
Course Prerequisites / Notes | | No requirements for attending the lecture.
The lecture will be held face-to-face.
TACT mailing is available. |
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教科書【日本語】
Textbook | | |
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教科書【英語】
Textbook | | | Handouts are prepared by lecturer. |
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参考書【日本語】
Reference Book | | | 薄膜トライボロジー，榎本祐嗣，三宅正二郎著，東京大学出版会 |
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参考書【英語】
Reference Book | | | Tribology of thin films, Y. Enomoto, S. Miyake, Tokyo daigaku shuppan-kai |
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授業時間外学習の指示【日本語】
Self-directed Learning Outside Course Hours | | |
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授業時間外学習の指示【英語】
Self-directed Learning Outside Course Hours | | | To read latest papers, and make a report. |
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使用言語【英語】
Language used | | |
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使用言語【日本語】
Language used | | |
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授業開講形態等【日本語】
Lecture format, etc. | | |
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授業開講形態等【英語】
Lecture format, etc. | | |
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遠隔授業（オンデマンド型）で行う場合の追加措置【日本語】
Additional measures for remote class (on-demand class) | | |
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遠隔授業（オンデマンド型）で行う場合の追加措置【英語】
Additional measures for remote class (on-demand class) | | |
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